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    感應耦合等離子刻蝕機（ICP）
    
						 
    
							 
    功能：其他
    
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    儀器型號：SI500
      
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    發(fā)布人：管理員
      
						 
    
						 
    
							 
    
								 
    
									 
									 詳情 details 
								 
    
								 
    
									 

    可提供高速率、高選擇比以及低損傷的刻蝕。等離子體能夠在低氣壓下保持穩(wěn)定，因此能夠更好地控制刻蝕形貌?？梢钥涛gSi, SiO2, 金屬薄膜等，氮氣、氬氣、 CHF3、SF6、 O2、 Cl2、 BCl3?。
    


    
								 
    
							 
    
							 
    
							 		
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