1.5米掃描干涉場曝光系統

儀器設備檔案信息

儀器名稱：1.5米掃描干涉場曝光系統? ? ? ? ? ? ? ? ? ?儀器型號：無

所屬單位：長春光學精密機械與物理研究所? ? ? ? ? 所屬區域中心：東北先進制造與材料大型儀器區域中心?

制造商名稱：中國科學院長春光學精密機械與物理研究所? ? 國別：中國

購置時間：2020/01/01

放置地點：大光柵樓B106? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 儀器工作狀態：正常

儀器大類：室內分析測試設備? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?儀器中類：其他通用科學儀器設備

儀器小類：其他

聯系方式：光電聯盟秘書處? 袁維? ?18943195858

? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?鄭彥杰 17386866393

儀器收費信息

樣品分類：光學系統? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 分析項目：光學系統檢測

前處理標準名稱：用戶指定?

分析項目標準名稱：用戶指定? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 對外服務價格：1000-時間計費